[发明专利]一种硅片边缘保护装置有效
| 申请号： | 201410857409.5 | 申请日： | 2014-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN105807575B | 公开（公告）日： | 2017-08-25 |
| 发明（设计）人： | 周旭;崔海仓;倪费;葛黎黎 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅片边缘保护装置，包括水平运动机构；垂直运动机构；调速装置，用于调节所述垂直运动机构的运行速度；柔性防撞机构，用于连接所述水平运动机构和所述垂直运动机构；控制装置，所述控制装置与所述调速装置信号连接，发出控制信号至调速装置，控制所述垂直运动机构的运动。本发明提供的硅片边缘保护装置可以避免瞬间强烈冲击工件台，避免压碎硅片；当发生碰撞时，可以保护工作台和硅片；并且提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 边缘 保护装置 | ||
【主权项】：
一种硅片边缘保护装置，其特征在于，包括：水平运动机构；垂直运动机构；调速装置，用于调节所述垂直运动机构的运行速度；柔性防撞机构，用于连接所述水平运动机构和所述垂直运动机构；控制装置，所述控制装置与所述调速装置信号连接，发出控制信号至调速装置，控制所述垂直运动机构的运动；还包括碰撞信号检测及保护机构，用于检测所述水平运动机构相对于所述垂直运动机构的振动信号，并根据振动信号发出报警信号和保护信号；所述碰撞信号检测及保护机构与所述控制装置信号连接，所述控制装置接收报警信号和保护信号，根据报警信号和保护信号，发出控制信号至调速装置，控制所述垂直运动机构的运动。
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