[发明专利]用于油浸包装中表面电荷抗扰的MEMS压力传感器场屏蔽布置在审
| 申请号： | 201410858396.3 | 申请日： | 2014-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN104655352A | 公开（公告）日： | 2015-05-27 |
| 发明（设计）人： | M·P·麦克尼尔;D·B·斯特罗特;S·P·格林 | 申请（专利权）人： | 森萨塔科技公司 |
| 主分类号： | G01L9/06 | 分类号： | G01L9/06 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 曹珂琼 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种压力感测元件，包括置于隔膜上的感测子元件，该压力感测元件包括置于感测子元件上并被构造成在操作期间显著消除外部电荷对感测子元件影响的屏蔽件。本文还公开了一种制造方法和一种采用压力感测元件的压力传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 包装 表面 电荷 mems 压力传感器 屏蔽 布置 | ||
【主权项】：
一种压力感测元件，该压力感测元件包括置于隔膜上的感测子元件，所述压力感测元件包括：场屏蔽件，该场屏蔽件置于所述感测子元件、接触通孔以及互连件之上，所述互连件置于所述感测子元件与所述接触通孔之间，以及场屏蔽电路，该场屏蔽电路被构造成用以通过对所述隔膜的基底以及所述场屏蔽件施加电势而在操作期间显著消除外部电荷对所述感测子元件的影响。
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