[实用新型]一种适用于薄片加工的金属夹具

摘要

本实用新型涉及一种半导体加工工具，具体来说，涉及一种适用于薄片加工的金属夹具，包括衬底、卡槽和卡环，所述衬底上设置有衬底切边，所述卡槽位于衬底周围，且与衬底相连，所述卡槽至少为两个，所述卡槽包括两个卡槽连接片和与设置在卡槽连接片一端的卡槽闭合片；所述卡环上设置有卡环凹槽，所述卡环凹槽的分布与衬底上的卡槽分布相对应，所述卡环上设置有卡环切边。本实用新型的优点在于：夹具作为载体，承载薄片进行各项工艺，保证薄片不破碎。该夹具同时具有易操作、无污染的特点，可以避免引入昂贵的薄片传送装置，极大地降低半导体行业薄片加工的成本。

主权项

一种适用于薄片加工的金属夹具，其特征在于：包括衬底、卡槽（1021、1022、1023）和卡环，所述衬底上设置有衬底切边（101），所述衬底切边（101）两端与衬底圆心（100）所形成的衬底夹角（301）范围为30°至50°，所述卡槽位于衬底周围，且与衬底相连，所述卡槽至少为两个，所述卡槽包括两个卡槽连接片和与设置在卡槽连接片一端的卡槽闭合片（111）；所述卡环上设置有卡环凹槽，所述卡环凹槽的分布与衬底上的卡分布相对应，所述卡环上设置有卡环切边（201），所述卡环切边（201）两端与卡环圆心（200）所形成的卡环夹角（401）范围为30°至50°。