[实用新型]一种新型真空电子束熔炼炉有效
| 申请号： | 201420005431.2 | 申请日： | 2014-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN203768482U | 公开（公告）日： | 2014-08-13 |
| 发明（设计）人： | 王建军;康朝阳;单继周;闫海洋 | 申请（专利权）人： | 登封电厂集团铝合金有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06;C01B33/037 |
| 代理公司： | 北京东方汇众知识产权代理事务所(普通合伙) 11296 | 代理人： | 白洁 |
| 地址： | 45247*** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种新型真空电子束熔炼炉，通过将分别设置于第一电子枪、第二电子枪、第三电子枪、第四电子枪下方的第一水冷坩埚、第二水冷坩埚、第三水冷坩埚、结晶坩埚顺序连接，先后除去硅料中的硼、磷、金属杂质并对硅料进行二次纯化后，再通过设置在结晶坩埚上方的直拉法单晶装置生产出单晶硅。本实用新型所提供的新型真空电子束熔炼炉设计合理、使用方便，且提出效果好，工艺更加连续，其硅料的提纯、连续精炼以及拉单晶等过程集约在一起，避免了现有固体硅料需要多次重熔的缺点，极大地降低了能耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 真空 电子束 熔炼炉 | ||
【主权项】：
一种新型真空电子束熔炼炉，包括炉体以及设置于炉体上的进料装置和单晶拉制装置，其特征在于，所述炉体上壁从左至右依次设置有第一电子枪、第二电子枪、第三电子枪、第四电子枪，第一电子枪、第二电子枪、第三电子枪、第四电子枪的下方对应设置有第一水冷坩埚、第二水冷坩埚、第三水冷坩埚、结晶坩埚，第一水冷坩埚、第二水冷坩埚、第三水冷坩埚、结晶坩埚依次连接并呈阶梯状排列，结晶坩埚套设于结晶坩埚下方设置的石墨坩埚中，石墨坩埚下方设置有坩埚上升旋转机构；所述进料装置的出料口设置于第一水冷坩埚的上方，单晶拉制装置设置于结晶坩埚的上方。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于登封电厂集团铝合金有限公司，未经登封电厂集团铝合金有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201420005431.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
