[实用新型]干、湿分离的晶圆移载装置

摘要

一种干、湿分离的晶圆移载装置，其是于一多轴向进给机构上固定连结一固定框座，并于该固定框座上设有多个第一拾取器，而可带动该多个第一拾取器作多轴向的移动，另于该固定框座上叠设有一活动框座，该活动框座上设有多个第二拾取器，一固设于固定框座的升降驱动源，该升降驱动源的驱动杆连结于该活动框座，使得活动框座可于固定框座上升降位移；由此，当活动框座上升时，可利用固定框座上的第一拾取器拾取移载呈干燥型态的晶圆，当活动框座下降时，则利用活动框座上的第二拾取器拾取移载呈潮湿型态的晶圆，进而可于单一移载装置上分离移载呈不同干、湿型态的晶圆，达到高适用性及有效降低设备成本的效益。

主权项

一种干、湿分离的晶圆移载装置，其特征在于，包括有：多轴向进给机构；固定框座，固定连结于多轴向进给机构，该固定框座上设有多个第一拾取器，以拾取移载第一种型态的晶圆；活动框座，与固定框座叠设，该活动框座上设有多个与第一拾取器错位设置的第二拾取器，以拾取移载第二种型态的晶圆；升降驱动源，固设于固定框座上，该升降驱动源的驱动杆则连结于活动框座，以带动该活动框座升降位移。