[实用新型]电容式压力传感器和惯性传感器集成器件

摘要

本实用新型提供了一种电容式压力传感器和惯性传感器集成器件，该器件包括：半导体衬底；覆盖该半导体衬底的外延层，该外延层下方的压力传感器区域内的半导体衬底中具有空腔；位于外延层上的第一介质层；位于第一介质层上的第一导电层；位于第一导电层上的第二介质层；位于第二介质层上的第二导电层，空腔上方的第二导电层被图形化为多个并列的电容极板，惯性传感器区域的第二导电层被图形化为可动质量块；位于第二导电层上的电极层，压力传感器区域的电极层被图形化为压力传感器布线，惯性传感器区域的电极层被图形化为惯性传感器压点区。本实用新型将电容式压力传感器和惯性传感器集成在同一器件中，使得芯片面积更小，成本更低。

主权项

一种电容式压力传感器和惯性传感器集成器件，其特征在于，包括：半导体衬底，包括并列的压力传感器区域和惯性传感器区域；覆盖该半导体衬底的外延层，该外延层下方的压力传感器区域内的半导体衬底中具有空腔；位于所述外延层上的第一介质层；位于所述第一介质层上的第一导电层，所述惯性传感器区域的第一导电层被图形化为惯性传感器布线；位于所述第一导电层上的第二介质层；位于所述第二介质层上的第二导电层，所述空腔上方的第二导电层被图形化为多个并列的电容极板，所述惯性传感器区域的第二导电层被图形化为可动质量块；位于所述第二导电层上的电极层，所述压力传感器区域的电极层被图形化为压力传感器布线，所述惯性传感器区域的电极层被图形化为惯性传感器压点区；其中，所述空腔上方的第一介质层、第一导电层和第二介质层开有窗口，所述可动质量块周围的空隙下方的第一介质层和第二介质层开有窗口。