[实用新型]改善内圈波长均匀性及拉近各圈波长均值的石墨盘

摘要

本实用新型涉及一种石墨盘，尤其是一种改善内圈波长均匀性及拉近各圈波长均值的石墨盘，属于MOCVD用石墨盘的技术领域。按照本实用新型提供的技术方案，所述改善内圈波长均匀性及拉近各圈波长均值的石墨盘，包括盘体及设置于所述盘体内若干均匀分布的凹盘位；所述凹盘位包括内圈盘位及位于所述内圈盘位外圈的外圈盘位；所述内圈盘位及外圈盘位均包括第一台阶、位于第一台阶下方的第二台阶及位于第二台阶下方的弧形底；所述内圈盘位第二台阶的高度为40~100μm，所述外圈盘位的第二台阶的高度比内圈盘位第二台阶的高度低5~25μm。本实用新型结构紧凑，能缩小各圈波长宽度并改善内圈均匀性，适应范围广，安全可靠。

主权项

一种改善内圈波长均匀性及拉近各圈波长均值的石墨盘，包括盘体（1）及设置于所述盘体（1）内若干均匀分布的凹盘位（2）；所述凹盘位（2）包括内圈盘位及位于所述内圈盘位外圈的外圈盘位；所述内圈盘位及外圈盘位均包括第一台阶（3）、位于第一台阶（3）下方的第二台阶（4）及位于第二台阶（4）下方的弧形底（5）；其特征是：所述内圈盘位第二台阶（4）的高度为40~100μm，所述外圈盘位的第二台阶（4）的高度比内圈盘位第二台阶（4）的高度低5~25μm。