[实用新型]无母篮清洗机有效
申请号: | 201420010717.X | 申请日: | 2014-01-09 |
公开(公告)号: | CN203664250U | 公开(公告)日: | 2014-06-25 |
发明(设计)人: | 倪加乐;滕明;陈玉华;陈蒙 | 申请(专利权)人: | 上海思恩电子技术(东台)有限公司 |
主分类号: | B08B3/04 | 分类号: | B08B3/04;B25J9/00;B25J9/10;B25J19/00 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 刘忠祥 |
地址: | 224200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种无母篮清洗机,包括机架、安装于机架上的清洗槽和机械手,所述机械手的悬臂位于清洗槽的上方,在悬臂上滑动支承有两运动方向相反的抓取钩座,各抓取钩座均固定设置有硅片篮抓取钩,所述清洗槽内设置有硅片篮托盘。该无母篮清洗机不仅可以在每一工位同时进行数个硅片篮的清洗,具有较高的生产效率,而且无需清洗母篮,减少用工,降低使用成本。 | ||
搜索关键词: | 无母篮 清洗 | ||
【主权项】:
一种无母篮清洗机,包括机架(1)、安装于机架(1)上的清洗槽(4)和机械手(3),其特征在于:所述机械手(3)的悬臂(4)位于清洗槽(9)的上方,在悬臂(4)上滑动支承有两运动方向相反的抓取钩座(5),各抓取钩座(5)均固定设置有硅片篮抓取钩(6),所述清洗槽(9)内设置有硅片篮托盘(8)。
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