[实用新型]氦气测漏装置有效
| 申请号： | 201420013301.3 | 申请日： | 2014-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN203688172U | 公开（公告）日： | 2014-07-02 |
| 发明（设计）人： | 罗建华;贺波亮;陈起伟;李斌;张潮;封龙刚 | 申请（专利权）人： | 西安神光安瑞光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 倪金荣 |
| 地址： | 710100 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种氦气测漏装置，主要解决了现有装载晶圆的托盘开始执行工艺配方后才能够了解氦气泄漏的大小，从而严重影响ICP蚀刻机蚀刻效果的问题。该氦气测漏装置包括用于固定装载晶圆的托盘的固定机构，用于将托盘和固定机构接触面之间形成的腔体进行抽真空的真空泵，真空泵通过管道和腔体连通，管道上设置有用于检测真腔体真空度的真空计和用于检测氦气泄漏数据的氦气侦测计。该氦气测漏装置可以准确掌握铝托盘氦气泄漏的实际情况，并通过调整托盘装载晶圆的位置减少对工艺的影响，提高了设备的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 氦气 装置 | ||
【主权项】：
一种氦气测漏装置，其特征在于：包括用于固定装载晶圆的托盘的固定机构，用于将托盘和固定机构接触面之间形成的腔体进行抽真空的真空泵，真空泵通过管道和腔体连通，管道上设置有用于检测真腔体真空度的真空计和用于检测氦气泄漏数据的氦气侦测计。
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