[实用新型]finFET结构有效
申请号: | 201420017133.5 | 申请日: | 2014-01-09 |
公开(公告)号: | CN203967092U | 公开(公告)日: | 2014-11-26 |
发明(设计)人: | 柳青;王俊利 | 申请(专利权)人: | 意法半导体公司;国际商业机器公司 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L29/06 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 王茂华 |
地址: | 美国得*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本实用新型公开了一种finFET结构,所述finFET结构包括为多个finFET形成的多个鳍部,所述多个鳍部的第一部分由与所述第一部分相邻的支撑结构支撑,所述第一部分在所述多个鳍部与衬底之间的空隙之上。 | ||
搜索关键词: | finfet 结构 | ||
【主权项】:
一种finFET结构,其特征在于,所述finFET结构包括为多个finFET形成的多个鳍部,所述多个鳍部的第一部分由与所述第一部分相邻的支撑结构支撑,所述第一部分在所述多个鳍部与衬底之间的空隙之上。
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