[实用新型]激光点式扫描氧氮氢氩氦联测仪

摘要

本实用新型涉及金属中氧氮氢氩氦分析领域，具体为一种激光点式扫描氧氮氢氩氦联测仪，解决现有金属中氧氮氢氩氦分析技术中，惰气熔融法等宏观分析手段仅能给出气体分析总含量值，离子探针等微观分析手段准确度差和可信度低的问题。激光点式扫描氧氮氢氩氦联测仪包括：激光器、耐高温高压玻璃窗口、待测样品台、被测样品、加样口、机械手、样品室、防污染弯管、真空泵、三通阀、质谱分析仪等，机械手可实现微尺寸二维精确控制，扫描区域从3-30mm，覆盖目前气体分析样品和直读光谱样品范围。质谱分析技术可同时测定微量氧、氮、氢、氩和氦，适用于激光点式熔融样品气体分析。本实用新型方便简捷，可用于金属中气体常规分析。

主权项

一种激光点式扫描氧氮氢氩氦联测仪，其特征在于，该联测仪包括：激光器、耐高温高压玻璃窗口、待测样品台、被测样品、加样口、机械手、样品室、防污染弯管、真空泵、三通阀、质谱分析仪，具体结构如下：联测仪内设置样品室、三通阀、质谱分析仪，透明密闭的样品室位于三通阀的上方，质谱分析仪位于三通阀的一侧，三通阀分别通过管道连接样品室、真空泵和质谱分析仪，真空泵位于联测仪的外侧，用于保持质谱分析仪和样品室的真空度，质谱分析仪通过防污染弯管与样品室连通；样品室中水平设置可转动的待测样品台，待测样品台上均布被测样品，待测样品台的一侧设置用于将被测样品平移的机械手；激光器置于联测仪顶部，激光器的激光束输出端与联测仪样品室顶部的耐高温高压玻璃窗口相对应，样品室顶部还设有用于向待测样品台添加被测样品的加样口。