[实用新型]升降式基板清洗机构

摘要

本实用新型为升降式基板清洗机构，包含框架、输送平台、上清洗单元及下清洗单元；上清洗单元具有设于框架的控制件与连动件、套设于连动件的移动本体、设于移动本体的马达组件、设于移动本体的轴杆、及设于轴杆的刷毛，连动件与控制件连动来使移动本体进行上下移动，轴杆通过马达组件驱动来清洗基板的上表面；下清洗单元具有设于框架的控制件与连动件、套设于连动件的移动本体、设于移动本体的马达组件、枢设于移动本体的轴杆、及设于轴杆的刷毛，连动件与控制件连动来使移动本体进行上下移动，轴杆通过马达组件驱动来清洗基板的下表面。

主权项

一种升降式基板清洗机构，用于清洗多个小尺寸基板，其特征在于，包含：一框架；一输送平台，设置于该框架；一上清洗单元，设置于该框架，且该上清洗单元具有：一第一控制件，设置于该框架；一第一连动件，设置于该框架，并与该第一控制件连动；一第一移动本体，活动套设于该第一连动件，并相对于该第一连动件进行移动；一第一马达组件，设置于该第一移动本体；一第一轴杆，枢设于该第一移动本体，并通过该第一马达组件来驱动旋转，且该第一轴杆高于该输送平台；及多个第一刷毛，设置于该第一轴杆；以及一下清洗单元，设置于该框架，且该下清洗单元具有：一第二控制件，设置于该框架；一第二连动件，设置于该框架，并与该第二控制件连动；一第二移动本体，活动套设于该第二连动件，并相对于该第二连动件进行移动；一第二马达组件，设置于该第二移动本体；一第二轴杆，枢设于该第二移动本体，并通过该第二马达组件来驱动旋转，且该第二轴杆低于该输送平台；及多个第二刷毛，设置于该第二轴杆。