[实用新型]一种生物芯片用玻璃基片表面真空蒸镀设备

摘要

本实用新型公开了一种生物芯片用玻璃基片表面真空蒸镀设备，包括机体，所述机体内设有蒸镀室，所述蒸镀室下方设有蒸发室，所述蒸发室下方设有油浴箱，工件架设置于蒸镀室内，真空系统由高真空阀、滑阀泵、扩散泵、油增压泵、机械泵组成，所述电气控制系统，对上述组件供电和控制，所述设置于机体外部设置有控制柜及变压器。本实用新型所述的一种生物芯片用玻璃基片表面真空蒸镀设备，蒸镀效果好、官能团固定稳定、操作方便，且带有自动控温系统，减少了人力、物力。

主权项

一种生物芯片用玻璃基片表面真空蒸镀设备，其特征在于：包括机体(7)，所述机体(7)内设有蒸镀室(8)，所述蒸镀室(8)下方设有蒸发室(9)，所述蒸发室(9)下方设有油浴箱(10)，工件架(11)设置于蒸镀室(8)内，真空系统(14)由高真空阀(2)、滑阀泵(1)、扩散泵(4)、油增压泵(5)、机械泵(6)组成，还包括电气控制系统(16)，所述机体(7)外部设置有控制柜(17)及变压器(18)。