[实用新型]一种分子束外延大规模生产设备中带有切边的衬底生长托板有效
| 申请号： | 201420044141.9 | 申请日： | 2014-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN203768486U | 公开（公告）日： | 2014-08-13 |
| 发明（设计）人： | 杜全钢;李维刚;谢小刚;姜炜;冯巍;郭永平;蒋建 | 申请（专利权）人： | 新磊半导体科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12;C23C16/458 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人： | 张慧 |
| 地址： | 215151 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种在分子束外延大规模生产设备中带有切边的衬底生长托板，该托板包括放置衬底片的台阶、放置阻挡热辐射圆环的台阶、限制阻挡热辐射圆环移动的台阶、切边；所述托板的三个台阶为一个整体，该托板中间为一带直线切边的不规则通孔，该托板在一块完整钼板上通过机械加工方式形成。同时由于切边限制了生长过程中衬底在托板上可能出现的滑动，从而减少了外延片表面的划痕；由于衬底与托板间的摩擦减少，从而降低了外延片表面颗粒物的产生，减少了托板对衬底片表面的污染和损伤，提高了半导体衬底片经分子束外延生长后的可利用面积，从而降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 分子 外延 大规模 生产 设备 带有 切边 衬底 生长 | ||
【主权项】：
一种分子束外延大规模生产设备中带有切边的衬底生长托板，其特征在于：该托板包括放置衬底片的台阶(1)、放置阻挡热辐射圆环的台阶(2)、限制阻挡热辐射圆环移动的台阶(3)、切边(10)；所述托板的三个台阶为一个整体，该托板中间为一带直线切边的不规则通孔，该托板在一块完整钼板上通过机械加工方式形成；该带有切边的衬底生长托板的三个台阶均为环形，放置衬底片的台阶(1)环形结构为弧形和带有切边(10)直线的两种结构，切边(10)直线的尺寸由所需切边衬底直线尺寸决定，放置衬底片的台阶(1)的弧形与切边衬底弧形尺寸一致；放置阻挡热辐射圆环的台阶(2)位于放置衬底片的台阶(1)和限制阻挡热辐射圆环移动的台阶(3)之间；限制阻挡热辐射圆环移动的台阶(3)为钼板表面。
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