[实用新型]微观立体痕迹三维扫描显微镜有效
| 申请号： | 201420044639.5 | 申请日： | 2014-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN203672317U | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 万晓新;曲崴;庞淑屏;刘威;战玉臣;柴乐;刘浪 | 申请（专利权）人： | 沈阳同联集团高新技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/04 | 分类号： | G01B9/04;G01B11/24;G02B21/26;G02B21/22 |
| 代理公司： | 北京元中知识产权代理有限责任公司 11223 | 代理人： | 张则武 |
| 地址： | 110042 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种微观立体痕迹三维扫描显微镜，包括投影单元、成像单元和载物台，投影单元包括投影元件和投影臂，成像单元包括成像元件和成像臂，载物台为位置可调的三维移动平台，被测物置于载物台上；投影臂的投影光路上分光设有观察被测物上立体痕迹的第一目镜，成像臂的成像光路上分光设有观察被测物上立体痕迹的第二目镜；投影臂包括投影目镜、第一变倍体和第一辅助物镜，成像臂包括成像目镜、第二变倍体和第二辅助物镜；第一目镜与投影目镜通过第一分光棱镜藕合到第一变倍体，第二目镜与成像目镜通过第二分光棱镜藕合到第二变倍体。本实用新型具有使用方便、测量精度高的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 微观 立体 痕迹 三维 扫描 显微镜 | ||
【主权项】：
一种微观立体痕迹三维扫描显微镜，包括投影单元、成像单元和载物台，其特征在于：投影单元，包括投影元件和投影臂，成像单元，包括成像元件和成像臂，载物台，为位置可调的三维移动平台，被测物置于载物台上。
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