[实用新型]一种带滑轨的用于制备石墨烯的化学气相沉积装置

摘要

本实用新型涉及一种带滑轨的用于制备石墨烯的化学气相沉积装置，包括一石英管，石英管输入端通过第一法兰连接有充气系统，石英管输出端通过法兰分别连接有气压调节器和真空系统，石英管外包围有分段加热装置，分段加热装置包括第一加热装置和第二加热装置，第一加热装置和第二加热装置下方设有滑轨，滑轨上设有可以在该滑轨上滑动的滑块，滑轨一侧设有伸缩气缸，伸缩气缸推动滑块在滑轨上滑动，滑块上固定连接有电机，电机输出转轴固定有锥齿轮，第一加热装置和第二加热装置上设有与该锥齿轮的齿纹啮合的斜齿圈，该锥齿轮转动时通过齿纹与斜齿圈啮合带动第一加热装置和第二加热装置绕石英管轴向旋转，本实用新型能够使得气体均匀分配进而使得石墨烯均匀沉积。

主权项

一种带滑轨的用于制备石墨烯的化学气相沉积装置，其特征在于：包括一石英管，所述石英管输入端通过第一法兰连接有充气系统，所述石英管输出端通过法兰分别连接有气压调节器和真空系统，所述石英管外包围有分段加热装置，所述分段加热装置包括第一加热装置和第二加热装置，所述第一加热装置和第二加热装置下方设有滑轨，滑轨上设有可以在该滑轨上滑动的第一滑块和第二滑块，所述第一滑块和第二滑块分别固定连接有第一电机和第二电机，第一电机和第二电机输出转轴均固定有锥齿轮，所述第一加热装置和第二加热装置上设有与该锥齿轮的齿纹啮合的斜齿圈，该锥齿轮转动时通过与斜齿圈啮合带动所述第一加热装置和第二加热装置绕石英管轴向旋转，所述滑轨两端设有两伸缩气缸，所述两伸缩气缸分别推动滑块第一滑块和第二滑块在滑轨上滑动，进而推动所述第一加热装置和第二加热装置相对所述石英管水平移动。