[实用新型]一种多晶硅还原尾气中的氯化氢的检测装置

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅还原尾气中的氯化氢的检测装置，该装置包括引入多晶硅还原尾气的进气引管、冷凝器、第一收集器、第二收集器、排气引管、第一流量计、第二流量计、第三流量计，进气引管上设置有第一流量计，进气引管与冷凝器的一端连接，冷凝器的另外一端与用于收集冷凝液的第一收集器的一端连接，第一收集器的另外一端通过导管与用于盛放碱液的第二收集器的一端连接，导管上设置有第二流量计，第二收集器的另外一端与排气引管连接，排气引管上设置有第三流量计。该装置简单，便于生产普及，且实现了多晶硅还原炉内尾气中的氯化氢含量的在线检测，对于还原炉排出的尾气中的氯化氢的含量检测准确，检测速度快，检测结果的反馈速度快。

主权项

一种多晶硅还原尾气中的氯化氢的检测装置，其特征在于，包括引入多晶硅还原尾气的进气引管、冷凝器、第一收集器、第二收集器、排气引管、第一流量计、第二流量计、第三流量计，所述进气引管上设置有所述第一流量计，用于得到总流量Q，所述进气引管与所述冷凝器的一端连接，所述冷凝器的另外一端与用于收集冷凝液的所述第一收集器连接，所述第一收集器再通过导管与用于盛放碱液的所述第二收集器连接，所述导管上设置有所述第二流量计，用于得到流量Q₁，所述第二收集器与所述排气引管连接，所述排气引管上设置有所述第三流量计，用于得到流量Q₂。