[实用新型]一种半导体激光器芯片有效
申请号: | 201420064039.5 | 申请日: | 2014-02-13 |
公开(公告)号: | CN203839701U | 公开(公告)日: | 2014-09-17 |
发明(设计)人: | 廉鹏 | 申请(专利权)人: | 廉鹏 |
主分类号: | H01S5/042 | 分类号: | H01S5/042;H01S5/02;H01L21/683 |
代理公司: | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人: | 郑自群 |
地址: | 100102 北京市朝*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型提出了一种半导体激光器芯片,包括:自下而上依次为N面散热结构、N面电极、N区外延层、有源区、P区外延层、P面电极和P面散热结构,所述N面电极通过生长衬底的转换方式形成。本实用新型的激光器芯片中的生长衬底能够重复利用,生长衬底的As不会带入激光器制备的后续工艺流程,降低工业废水的污染治理成本;避免了可能导致机械损伤的研磨过程,进而提高了半导体激光器的质量可靠性,使得其具有明显的技术先进性和良好的经济效益。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体激光器 芯片 | ||
【主权项】:
一种半导体激光器芯片,其特征在于,包括:自下而上依次为N面散热结构、N面电极、N区外延层、有源区、P区外延层、P面电极和P面散热结构,所述N面电极通过生长衬底的转换方式形成。
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