[实用新型]全自动真空腔体晶片加工装置

摘要

本实用新型是指一种全自动真空腔体晶片加工装置，其中，该使用于晶片加工的全自动真空腔体晶片加工装置设有：恒压腔体单元、入料单元、出料单元及控制元件。该恒压腔体单元内具有一恒真空压力的腔室，腔室连接有：入料单元的入料腔体及出料单元的出料腔体。而入料腔体与出料腔体是于腔室输入、输出晶片时，用以配合腔室快速抽真空等压输送。以此，腔室具有真空值维持恒压的事实优异依据。

主权项

一种全自动真空腔体晶片加工装置，其特征在于，所述使用于晶片加工的全自动真空腔体晶片加工装置至少设有：恒压腔体单元、入料单元、出料单元及控制元件；而该恒压腔体单元，内具有一恒真空压力的腔室，外具有一可开启、封闭腔室的入料闸门，以及一可开启、封闭腔室的出料闸门，周边具有一维持腔室恒真空压力的第一真空泵；而腔室内具有一对应入料闸门及出料闸门高度的加工床台，加工床台内组接有加热器，且加工床台配设有线架装置，线架装置具有第一动力装置，第一动力装置可上、下、左、右驱动有一上延体，上延体上伸于加工床台两侧，且上延体于上端平接有钢线，并加工床台上方下凹有容置钢线下移时的线槽；而该入料单元，具有一入料腔体，入料腔体内设有一入料腔室，入料腔室一侧开设有一衔接入料闸门的入料接口，且入料腔室内架设有入料滚轮，入料滚轮间伸设有横入料叉，并入料腔体架设有可上、下、左、右驱动横入料叉的第二动力装置；而后，入料腔体前缘设有：一可开启、封闭入料腔室的进料闸门，周边具有可将入料腔室快速抽真空的第二真空泵；而后，进料闸门前缘对应入料滚轮配置有一入料运载单元；而该出料单元，具有一出料腔体，出料腔体内设有一出料腔室，出料腔室一侧开设有一衔接出料闸门的出料接口，且出料腔室内架设有出料滚轮，出料滚轮间伸设有横出料叉，并出料腔体架设有可上、下、左、右驱动横出料叉的第三动力装置；而后，出料腔体前缘设有：一可开启、封闭出料腔室的成品料闸门，且出料腔体可连接将出料腔室快速抽真空的第二真空泵；而后，成品料闸门前缘对应出料滚轮配置有一成品料运载单元；而该控制元件，内建有判读自动真空腔体晶片加工装置的电控、动力及真空讯号，以及据讯号驱动与恒压腔体单元、入料单元及出料单元的控制参数。