[实用新型]一种石墨纽扣

摘要

本实用新型提供一种石墨纽扣，至少包括：一安装柱、一上卡板、一上连接柱、一下连接柱、以及一下卡板；其中，所述安装柱具有一上表面和与所述上表面相对的下表面；所述安装柱的上表面与所述上连接柱连接；所述上连接柱表面与上卡板连接；所述安装柱的下表面与所述下连接柱连接；所述下连接柱表面与下卡板连接；所述上卡板与下卡板均为十字形；所述上卡板与所述安装柱形成第一卡槽，所述第一卡槽的间距范围为0.16～0.23mm；所述下卡板与所述安装柱形成第二卡槽，所述第二卡槽的间距范围为0.16～0.23mm。本实用新型提供的石墨纽扣的第一卡槽和第二卡槽的尺寸减小为0.16～0.23mm，以使硅片与石墨晶舟更加服帖，镀膜更加均匀，改善镀膜颜色的均匀性。

主权项

一种石墨纽扣，其特征在于，所述石墨纽扣至少包括：一安装柱、一上连接柱、一上卡板、一下连接柱、以及一下卡板；其中，所述安装柱具有一上表面和与所述上表面相对的下表面；所述安装柱的上表面与所述上连接柱连接；所述上连接柱表面与上卡板连接；所述安装柱的下表面与所述下连接柱连接；所述下连接柱表面与下卡板连接；所述上卡板与下卡板均为十字形；所述上卡板与所述安装柱形成第一卡槽，所述第一卡槽的间距范围为0.16～0.23mm；所述下卡板与所述安装柱形成第二卡槽，所述第二卡槽的间距范围为0.16～0.23mm。