[实用新型]MEMS地震检波器有效
| 申请号： | 201420068594.5 | 申请日： | 2014-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN203745660U | 公开（公告）日： | 2014-07-30 |
| 发明（设计）人： | 麻三怀;杨长春;俞度立;冯方方 | 申请（专利权）人： | 中国科学院地质与地球物理研究所 |
| 主分类号： | G01V1/18 | 分类号： | G01V1/18 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 张瑾 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种MEMS地震检波器，其包括设有上盖的保护壳、设置在保护壳内的MEMS机芯和设置在保护壳外的尾锥，其中，MEMS机芯包括固定在保护壳内的机芯壳、设置在机芯壳内的支撑架和设置在支撑架上的多个MEMS加速度计；上述支撑架为长方体状；上述MEMS加速度计为电容式加速度计，包括X加速度计、Y加速度计和Z加速度计，三者分别立设于支撑架上相邻的三个侧面上，且Z加速度计所处的侧面为支撑架上朝向上盖的顶面；上述尾锥设置在螺杆上，螺杆穿过保护壳的底板并与机芯壳相抵。该MEMS地震检波器中避免了使用具有固有频率的线圈，可记录的动态范围大，响应频带宽、分辨率高，利于探测由人工震源产生的全部宽频带弹性波。 | ||
| 搜索关键词： | mems 地震 检波器 | ||
【主权项】：
一种MEMS地震检波器，其特征在于，包括：设有上盖的保护壳、设置在保护壳内的MEMS机芯和设置在保护壳外的尾锥； 其中，所述MEMS机芯包括固定在所述保护壳内的机芯壳、设置在所述机芯壳内的支撑架和设置在支撑架上的MEMS加速度计；所述支撑架为长方体；所述MEMS加速度计为电容式加速度计，包括X加速度计、Y加速度计和Z加速度计，三者分别立设于所述支撑架上相邻的三个侧面上，且所述Z加速度计所处的侧面为所述支撑架上朝向所述上盖的侧面；所述尾锥设置在螺杆上；所述螺杆穿过所述保护壳的底板，并与所述机芯壳相抵。
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