[实用新型]研磨盘和研磨垫调整器有效
| 申请号： | 201420070067.8 | 申请日： | 2014-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN203726325U | 公开（公告）日： | 2014-07-23 |
| 发明（设计）人： | 唐强 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/20 | 分类号： | B24B37/20;B24B37/34 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种研磨盘和研磨垫调整器，其中，所述研磨盘至少包括：两个分研磨盘，所述分研磨盘包括圆形连接片和两组形状相同的扇形研磨片，所述圆形连接片与每组扇形研磨片的内端固定连接；两个分研磨盘适于通过所述圆形连接片的重合组成圆形结构的研磨盘。本实用新型的研磨盘采用可分体式结构分为两个分研磨盘，可以在研磨垫进行研磨时使用组合后的研磨盘，在研磨垫进行表面的副产物去除时使用分体后的分研磨盘，在副产物较少时，仅使用一个分研磨盘，并在每次进行副产物去除时交替使用两个分研磨盘，减少了分研磨盘的使用频率，能够有效延长研磨盘的使用寿命，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 调整器 | ||
【主权项】：
一种研磨盘，其特征在于，所述研磨盘至少包括：两个分研磨盘，所述分研磨盘包括圆形连接片和两组形状相同的扇形研磨片，所述圆形连接片与每组扇形研磨片的内端固定连接；两个分研磨盘适于通过所述圆形连接片的重合组成圆形结构的研磨盘。
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