[实用新型]一种新型硅片干燥箱控制系统有效
| 申请号： | 201420075218.9 | 申请日： | 2014-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN203745929U | 公开（公告）日： | 2014-07-30 |
| 发明（设计）人： | 黄赛琴;陈轮兴;林勇 | 申请（专利权）人： | 福建安特微电子有限公司 |
| 主分类号： | G05D23/24 | 分类号： | G05D23/24 |
| 代理公司： | 福州市鼓楼区京华专利事务所(普通合伙) 35212 | 代理人： | 宋连梅 |
| 地址： | 351100 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种新型硅片干燥箱控制系统，所述的控制系统设置在干燥箱内，包括辅热电机、定时器电路、时间显示屏、热敏电阻、电压比较电路、报警电路、继电器和加热电路，所述的辅热电机通过辅热开关与市电连接，所述电压比较电路通过电源开关与市电连接，所述电压比较电路的输入端与热敏电阻和定时器电路连接，所述的电压比较电路的输出端与继电器和报警电路连接，所述的定时器电路与电源开关和时间显示屏连接。本实用新型可实现超温报警、超温断电和时间控制及显示，解决现有硅片干燥箱温度控制不准确的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 硅片 干燥箱 控制系统 | ||
【主权项】：
一种新型硅片干燥箱控制系统，其特征在于：所述的控制系统设置在干燥箱内，包括辅热电机、定时器电路、时间显示屏、热敏电阻、电压比较电路、报警电路、继电器和加热电路，所述的辅热电机通过辅热开关与市电连接，所述电压比较电路通过电源开关与市电连接，所述电压比较电路的输入端与热敏电阻和定时器电路连接，所述的电压比较电路的输出端与继电器和报警电路连接，所述的定时器电路与电源开关和时间显示屏连接。
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