[实用新型]硅棒开断装置有效
| 申请号： | 201420076323.4 | 申请日： | 2014-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN203739034U | 公开（公告）日： | 2014-07-30 |
| 发明（设计）人： | 范桂林;李茂欣 | 申请（专利权）人： | 上海磐盟电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04 |
| 代理公司： | 上海富石律师事务所 31265 | 代理人： | 杨楠 |
| 地址： | 201611 上海市松*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型的目的是提供一种硅棒开断装置。本实用新型所提供的硅棒开断装置，包括：框架、硅棒固定装置和带锯（5），其特征在于：所述硅棒开断装置还包括一垂直检测仪，所述垂直检测仪设置在所述带锯（5）的上方。所述框架包括底板（2）、顶板（1）、第一滑轨（6）和支撑杆（3）；所述第一滑轨（6）设置在所述底板（2）上；所述支撑杆（3）的底端通过所述第一滑轨（6）滑动连接在所述底板（2）上；所述顶板（1）固定在所述支撑杆（3）的顶部。本实用新型所提供的硅棒开断装置，可保证开断后硅片成品率高，提高生产效率，减少不良率和材料浪费，节省生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 硅棒开断 装置 | ||
【主权项】：
一种硅棒开断装置，包括：框架、硅棒固定装置和带锯（5），其特征在于：所述硅棒开断装置还包括一垂直检测仪，所述垂直检测仪设置在所述带锯（5）的上方。
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