[实用新型]一种基板移载装置及基板镀膜生产系统

摘要

本实用新型涉及镀膜生产设备技术领域，尤其涉及一种基板移载装置及设有该基板移载装置的基板镀膜生产系统，具体地是一种易调试型基板移载装置及设有该基板移载装置的基板镀膜生产系统。该基板移载装置包括：框架主体和横杆，所述横杆的两端与所述框架主体通过锯齿结构连接，所述横杆上安装有多个用于夹持基板的基板夹具。一种基板镀膜生产系统包括导轨、磁导向和基板移载装置，所述基板移载装置的框架主体的下部安装有所述导轨，导轨与驱动装置连接，所述驱动装置用于驱动所述导轨带动所述基板移载装置移动，所述基板移载装置的框架主体的上部与所述磁导向相连，所述磁导向用于使得所述基板移载装置保持竖直方向。提高了可靠性及工作效率，降低了生产成本，可以满足各种尺寸的玻璃基板的镀膜，同时延长了基板移载装置的寿命。

主权项

一种基板移载装置，其特征在于：包括：框架主体和横杆，所述横杆的两端与所述框架主体通过锯齿结构连接，所述横杆上安装有多个用于夹持基板的基板夹具。