[实用新型]气体泄漏检测装置以及化学试剂供给装置有效
| 申请号： | 201420103472.5 | 申请日： | 2014-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN203774259U | 公开（公告）日： | 2014-08-13 |
| 发明（设计）人： | 杨志平 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;C23C16/455 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种气体泄漏检测装置以及化学试剂供给装置，所述气体泄漏检测装置包括设置于一排风管道上的加热器、设置于所述排风管道出口处的检测器以及与所述检测器连接的报警模块。所述气体泄漏检测装置利用化学试剂如二氯乙烯受热产生分解物如氯化氢气体的特点，通过加热器加热排风管道内的化学试剂，通过检测器检测排风管道内是否存在氯化氢气体，进而来检测排风管道内是否有二氯乙烯的泄露，有利于提高产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 泄漏 检测 装置 以及 化学试剂 供给 | ||
【主权项】：
一种气体泄漏检测装置，其特征在于：所述气体泄漏检测装置包含：加热器，设置于一排风管道上；检测器，设置于所述排风管道的出口处，用于检测所述排风管道内是否有分解物；以及报警模块，与所述检测器连接，当所述检测器检测到分解物时所述报警模块启动报警。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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