[实用新型]一种用于测试光路与成像光路同轴的光路系统

摘要

本实用新型公开了一种用于测试光路与成像光路同轴的光路系统，包括测试光路、成像光路、入射及反射部件，所述测试光路和所述成像光路安装在所述入射及反射部件两侧，成反射镜像对称；其中，测试光路中包括准直孔装置，成像光路中包括胶合组镜组;本实用新型通过准直孔装置屏蔽测试光路中的X射线以及通过胶合组镜组对可见光进行折射，使得以往成像观测过程中形成的黑斑得到消减直至消失，可以使得观测和调节更加方便。

主权项

一种用于测试光路与成像光路同轴的光路系统，其特征在于，包括测试光路、成像光路、入射及反射部件，所述测试光路和所述成像光路安装在所述入射及反射部件两侧，成反射镜像对称；所述入射及反射部件包括反射镜，所述反射镜倾斜安装且具有设置在所述反射镜中心部位的贯通通孔，测试光线由所述贯通通孔射入并进入所述测试光路；所述测试光路包括样品台具有通孔的准直孔装置，所述样品台安装在所述测试光路的一侧，可沿安装轴线进行位置移动，所述准直孔装置安装在所述入射及反射部件和所述样品台之间；所述成像光路包括胶合组镜组和CCD靶面，所述胶合组镜组安装在所述成像光路一侧，所述胶合组镜组中轴线与所述测试光路中轴线关于所述反射镜的法向呈镜面反射对称，所述胶合组镜组包括静胶合组镜和动胶合组镜，所述静胶合组镜固定安装，所述动胶合组镜动态安装在所述静胶合组镜和所述CCD靶面之间，可沿所述成像光路轴线进行位置移动；所述CCD靶面安装在所述胶合组镜组的后侧。