[实用新型]一种机台以及研磨装置有效
| 申请号： | 201420108358.1 | 申请日： | 2014-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN203843665U | 公开（公告）日： | 2014-09-24 |
| 发明（设计）人： | 张铭汛;胡俊;孟祥德;马力超 | 申请（专利权）人： | 北京京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/27 | 分类号： | B24B37/27;B24B37/34 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;陈源 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种机台，用于承载基板，该机台包括底座和设置在所述底座上的第一支撑部、第二支撑部，所述第一支撑部和所述第二支撑部用于共同支撑所述基板，且所述第一支撑部和所述第二支撑部中的一个能够朝向或远离所述第一支撑部和所述第二支撑部中的另一个移动。相应地，本实用新型还提供一种研磨装置。本实用新型所提供的机台和研磨装置能够对不同尺寸的基板进行研磨。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 机台 以及 研磨 装置 | ||
【主权项】：
一种机台，用于承载基板，其特征在于，所述机台包括底座和设置在所述底座上的第一支撑部、第二支撑部，所述第一支撑部和所述第二支撑部用于共同支撑所述基板，且所述第一支撑部和所述第二支撑部中的一个能够朝向或远离所述第一支撑部和所述第二支撑部中的另一个移动。
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