[实用新型]用于二元气体检测的微型热导式气体传感器有效
| 申请号： | 201420109397.3 | 申请日： | 2014-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN203720132U | 公开（公告）日： | 2014-07-16 |
| 发明（设计）人： | 李永华;张星辰;曹宇 | 申请（专利权）人： | 合肥西子湾电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/04 | 分类号： | G01N27/04;G01F1/69 |
| 代理公司： | 安徽汇朴律师事务所 34116 | 代理人： | 胡敏 |
| 地址： | 230001 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于二元气体检测的微型热导式气体传感器，包括基片衬底和分别设置于基片衬底上的微型加热器、组分传感器、流量传感器和温度传感器；所述微型加热器、组分传感器和流量传感器均为悬梁结构。本实用新型通过电路保持微型加热器的温度恒定不变，通过检测组分传感器和流量传感器的温度变化来检测气体的组分和流量，因此工作更加稳定，精度更高；气体传感器的制造可以基于微机电加工技术实现，可以实现成本低的批量化制造；同时体积小、功耗低、易于集成，可以不需参考气室，能够植入待测气体的环境中使用。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 二元 气体 检测 微型 热导式 传感器 | ||
【主权项】：
一种用于二元气体检测的微型热导式气体传感器，其特征在于，包括基片衬底（1）和分别设置于基片衬底（1）上的微型加热器（2）、组分传感器（3）、流量传感器（4）和温度传感器（5）；所述微型加热器（2）、组分传感器（3）和流量传感器（4）均为悬梁结构。
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