[实用新型]气瓶柜有效
| 申请号： | 201420109859.1 | 申请日： | 2014-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN203735772U | 公开（公告）日： | 2014-07-30 |
| 发明（设计）人： | 杨嘉明;周中扬 | 申请（专利权）人： | 法液空电子设备股份有限公司 |
| 主分类号： | A47B81/00 | 分类号： | A47B81/00;F17C13/00 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 牛晓玲;吴鹏 |
| 地址： | 中国台湾台中*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种气瓶柜，是应用于半导体制程，气瓶柜包含一柜体、一气隔件以及一气流管路。柜体内部具有一空间。气隔件置于柜体内，将柜体的空间区隔为一开放空间及一密闭空间，其中开放空间是用以放置半导体制程用的一惰性气体瓶，密闭空间是用以放置半导体制程用的一危险气体瓶。气流管路连接惰性气体瓶及危险气体瓶，用以将惰性气体瓶内的惰性气体流向气流管路。本实用新型的气隔件阻隔柜体的开放空间及密闭空间，藉此可减少气瓶柜于密闭空间的排气成本。 | ||
| 搜索关键词： | 气瓶柜 | ||
【主权项】：
一种气瓶柜，其应用于半导体制程，该气瓶柜包含：一柜体，内部具有一空间；一气隔件，置于该柜体内，将该柜体的该空间分隔为一开放空间及一密闭空间，其中该开放空间是用以放置半导体制程用的一惰性气体瓶，该密闭空间是用以放置半导体制程用的一危险气体瓶；以及一气流管路，其连接该惰性气体瓶及该危险气体瓶，用以将该惰性气体瓶内的惰性气体流向该气流管路。
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