[实用新型]无铁芯直线电机构成重负载高精度工作台有效
| 申请号： | 201420111923.X | 申请日： | 2014-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN203918990U | 公开（公告）日： | 2014-11-05 |
| 发明（设计）人： | 丁天祥;曹学兵 | 申请（专利权）人： | 丁天祥;曹学兵 |
| 主分类号： | B25H1/00 | 分类号： | B25H1/00;B25H1/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 朱俊跃 |
| 地址： | 065200 河北省廊坊市*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种无铁芯直线电机构成重负载高精度工作台，包括第一直线电机、第一导轨、第一光栅尺、工作台本体和平板，所述第一导轨设于所述平板上，所述第一直线电机驱动所述工作台本体沿所述第一导轨移动，所述第一光栅尺设于所述平板上，所述第一光栅尺置于所述第一导轨的一侧，并与所述第一导轨平行。本实用新型的技术方案通过使用直线电机构成了工作台，使工作台有较高的精度，能广泛使用在半导体制造行业的机械设备上。 | ||
| 搜索关键词： | 无铁芯 直线 电机 构成 负载 高精度 工作台 | ||
【主权项】：
一种无铁芯直线电机构成重负载高精度工作台，其特征在于，包括第一直线电机、第一导轨、第一光栅尺、工作台本体和平板，所述第一导轨设于所述平板上，所述第一直线电机驱动所述工作台本体沿所述第一导轨移动，所述第一光栅尺设于所述平板上，所述第一光栅尺置于所述第一导轨的一侧，并与所述第一导轨平行。
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