[实用新型]一种维持室内污染物浓度稳定的洁净室有效
| 申请号： | 201420112881.1 | 申请日： | 2014-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN203823957U | 公开（公告）日： | 2014-09-10 |
| 发明（设计）人： | 杨政谕 | 申请（专利权）人： | 亚翔系统集成科技（苏州）股份有限公司 |
| 主分类号： | F24F3/16 | 分类号： | F24F3/16;F24F13/28 |
| 代理公司： | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人： | 陆金星 |
| 地址： | 215126 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种维持室内污染物浓度稳定的洁净室，可用于低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示器厂房的洁净室，包括洁净空间和回风通道；所述洁净空间从上到下包括架构空间、洁净空间和循环空间，架构空间和洁净空间之间设有天花板；所述天花板上设有复数个风机滤器单元；所述循环空间和/或回风通道内设有复数个过滤单元，所述过滤单元包括化学过滤器和风机；还包括污染物浓度监测机构和控制系统。本实用新型的洁净室可以用于低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示器厂房，在循环空间和/或回风通道内设有复数个过滤单元，从而将化学过滤器过滤的洁净空气和直接从洁净空间出来的空气进行预混合，因而实现了维持洁净空间内污染物浓度恒定的控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 维持 室内 污染物 浓度 稳定 洁净室 | ||
【主权项】：
一种维持室内污染物浓度稳定的洁净室，包括新风输送系统、排气系统、洁净空间系统和回风通道(1)；所述洁净空间系统从上到下包括架构空间(4)、洁净空间(5)和循环空间(6)，架构空间和洁净空间之间设有天花板(7)；所述天花板上设有复数个风机滤器单元(8)；其特征在于：所述循环空间和/或回风通道内设有复数个过滤单元(2)，所述过滤单元包括化学过滤器(3)和风机(9)；还包括污染物浓度监测机构和控制系统；所述污染物浓度监测机构设于洁净空间内；所述各个过滤单元的风机均由所述控制系统控制。
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