[实用新型]一种用于半导体厂房的洁净室

摘要

本实用新型公开了一种用于半导体厂房的洁净室，包括一大型洁净空间及回风通道；大型洁净空间从上到下包括架构空间、洁净空间和循环空间，所述循环空间内设有生产辅助设备；所述循环空间内设置生产辅助设备的区域的四周均设有隔板，使其构成独立的密闭空间；在所述洁净空间内相对于所述密闭空间的位置设有至少1个回风柱，所述回风柱的顶端与架构空间连通，其底端与高架地板连通；所述回风柱内设有风机。本实用新型解决了生产辅助设备易产生泄漏的问题；与此同时，在洁净空间内相对于所述密闭空间的位置设置多个回风柱，通过回风柱实现气流循环，同时还充分利用了其内的洁净空气，而且降低了消耗。

主权项

一种用于半导体厂房的洁净室，包括新风输送系统、排气系统和一大型洁净空间及回风通道；所述大型洁净空间从上到下包括架构空间(4)、洁净空间(5)和循环空间(6)，架构空间和洁净空间之间设有天花板(7)，洁净空间和循环空间之间设有高架地板(2)和混凝土板(3)；所述循环空间内设有生产辅助设备；其特征在于：所述循环空间内设置生产辅助设备的区域的四周均设有隔板(8)，使其构成独立的密闭空间；循环空间内还设有连通管，连通管的一端与所述密闭空间连通，另一端与洁净室的外界连通；在所述洁净空间内相对于所述密闭空间的位置设有至少1个回风柱(9)，所述回风柱的顶端与架构空间连通，其底端与高架地板连通；所述回风柱内设有风机(10)。