[实用新型]一种MEMS体硅湿法加工工艺单面保护装置

摘要

本实用新型公开了一种MEMS体硅湿法加工工艺单面保护装置，该MEMS体硅湿法加工工艺单面保护装置的基板中间为通孔结构，基板与固定环之间通过密封圈密封，并用锁紧螺丝锁紧固定，基板与手持杆之间通过螺纹连接，导气孔与手持杆之间通过转接嘴和导气管连接并在接口处由螺纹锁紧，手持杆与堵头环通过堵头螺丝连接，导气管与手持杆通过堵头环固定。本实用新型的整体选用聚醚醚酮材料，热膨胀系数低，不会因为热胀冷缩而引起漏液，中间基板进行通孔设计，保证装置腔体内无压差，基板的通孔处与外界通过导气管进行相连，保证腐蚀液加热后腔体内部膨胀的气体及时排除，避免热膨胀引起的碎片，降低了工艺难度，避免了有机材料祛除不净对MEMS器件性能的影响，提高了成品率。

主权项

一种MEMS体硅湿法加工工艺单面保护装置，其特征在于，所述的MEMS体硅湿法加工工艺单面保护装置包括基板、固定环、密封圈、导气孔、导气管、手持杆、锁紧螺丝、堵头螺丝、转接嘴、堵头环；所述的基板中间为通孔结构，基板与固定环之间通过密封圈密封，并用锁紧螺丝锁紧固定，基板与手持杆之间通过螺纹连接，导气孔与手持杆之间通过转接嘴和导气管连接并在接口处由螺纹锁紧，手持杆与堵头环通过堵头螺丝连接，导气管与手持杆通过堵头环固定。