[实用新型]多激光平面度测量仪器有效
申请号: | 201420140188.5 | 申请日: | 2014-03-26 |
公开(公告)号: | CN204115679U | 公开(公告)日: | 2015-01-21 |
发明(设计)人: | 洪金龙;仇增华 | 申请(专利权)人: | 东莞市天勤仪器有限公司 |
主分类号: | G01B11/30 | 分类号: | G01B11/30 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 赵蕊红 |
地址: | 523000 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种多激光平面度测量仪器,设置有架体和激光发射单元,架体设置有基座和测试平台,基座位于测试平台下方,激光发射单元装配于基座,测试平台位于激光发射单元上方,激光发射单元自下方发射激光对测试平台上的测试样品进行平面度检测。还设置有位置调整机构,位置调整机构设置有驱动单元、滑动单元、移动座和丝杆。激光发射单元由多个激光发射器构成,每个激光发射器距离所述测试平台之间的间距均相等。激光发射单元还设置有激光间距调节单元,激光间距调节单元设置有调节板和多个激光装配治具。该多激光平面度测量仪器能够方便检测不同厚度的测试样品,具有结构简单、操作方便的特点。 | ||
搜索关键词: | 激光 平面 测量 仪器 | ||
【主权项】:
一种多激光平面度测量仪器,其特征在于:设置有架体和激光发射单元,所述架体设置有基座和用于放置测试样品的测试平台,所述基座位于所述测试平台下方,所述激光发射单元装配于所述基座,所述测试平台位于所述激光发射单元上方,激光发射单元自下方发射激光对测试平台上的测试样品进行平面度检测。
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