[实用新型]检测微电子机械系统加速度传感器芯片的特性的系统

摘要

本实用新型实施例公开了一种检测MEMS加速度传感器芯片的特性的系统。包括：信号采集装置和特性检测与控制装置；信号采集装置包括振动台、振动传感器、被检测的MEMS加速度传感器芯片和检测电路；特性检测与控制装置根据被检测的MEMS加速度传感器芯片在不同振动频率下的输入信号和输出信号，拟合开环频率特性，并与理想状态下的开环频率特性进行比较，确定其结构是否存在问题。根据所述被检测的MEMS加速度传感器芯片的开环频率特性测试数据计算得到开环传递函数的极点和零点值。根据本实用新型实施例，可以确定被检测的MEMS加速度传感器芯片的开环传递函数，根据此特性可判定其是否满足误差允许范围，并可指导设计MEMS加速度传感器的闭环控制系统。

主权项

一种检测微电子机械系统加速度传感器芯片的特性的系统，其特征在于，包括：信号采集装置和特性检测与控制装置；其中，所述信号采集装置包括振动台、振动传感器、被检测的MEMS加速度传感器芯片和检测电路，所述振动台分别与所述振动传感器和所述被检测的MEMS加速度传感器芯片刚性连接； 所述振动台，用于在不同频率的激励信号的作用下，产生不同频率的振动； 所述振动传感器，用于采集所述振动台的振动变化量，将所述振动变化量转换为电压信号，并将所述电压信号作为输入信号输出给所述特性检测与控制装置； 所述被检测的MEMS加速度传感器芯片，用于测量所述振动台的振动加速度，并将所述振动加速度转换为电容变化量； 所述检测电路，用于将所述电容变化量转换为电压信号，并将所述电压信号作为输出信号输出给所述特性检测与控制装置； 所述特性检测与控制装置，用于根据被检测的MEMS加速度传感器芯片在不同振动频率下的输入信号和输出信号，拟合所述被检测的MEMS加速度传感器芯片的开环频率特性，将所述被检测的MEMS加速度传感器芯片的开环频率特性与理想状态下的MEMS加速度传感器芯片的开环频率特性进行比较，确定所述被检测的MEMS加速度传感器芯片的结构是否存在问题。