[实用新型]一种半导体清洗机台药液管路的排气装置

摘要

本实用新型公开了一种半导体清洗机台药液管路的排气装置，包括由所述清洗机台的药液补给槽内通向机台清洗腔的供液管，所述供液管设有供液控制阀，其特征在于，所述供液管在靠近所述供液控制阀之前的位置具有一段呈峰形曲折的结构，所述呈峰形曲折结构的峰形顶部连通排液管，所述排液管设有排液控制阀，所述排液管连通所述清洗机台的排液口。本实用新型通过控制模块执行对各阀门的启闭组合模式，可实现自动控制，定时从排液管排出机台供液管路内的气泡，减少机台的报警，从而明显减少产品缺陷及报废的发生。

主权项

一种半导体清洗机台药液管路的排气装置，包括由所述清洗机台的药液补给槽内通向机台清洗腔的供液管，所述供液管设有供液控制阀，其特征在于，所述供液管在靠近所述供液控制阀之前的位置具有一段呈峰形曲折的结构，所述呈峰形曲折结构的峰形顶部连通排液管，所述排液管设有排液控制阀，所述排液管连通所述清洗机台的排液口；其中，所述供液控制阀、排液控制阀在不同的工作状态下具有相应的启闭组合模式，其启闭组合模式由控制模块执行；其中，当所述排液控制阀打开、所述供液控制阀关闭时，经由所述峰形曲折结构的峰形顶部向所述清洗机台的排液口排气，当所述排液控制阀关闭、所述供液控制阀打开时，经由所述峰形曲折结构向所述机台清洗腔供液。