[实用新型]通孔连线的测试结构有效
| 申请号： | 201420147515.X | 申请日： | 2014-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN203774314U | 公开（公告）日： | 2014-08-13 |
| 发明（设计）人： | 王喆 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;G01R31/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提出了一种通孔连线的测试结构，包括多组基本单元，基本单元包括第一金属连线、第二金属连线以及形成于第一金属连线和第二金属连线之上的多个通孔连线，第一金属连线和第二金属连线间隔排列，位于第一金属连线和第二金属连线上的通孔连线之间保持预定间距。从而能够通过检测第一金属和第二金属之间是否存在漏电来判断通孔连线之间是否存在桥连，能够在每一层都设置该种结构，从而实现当层即可检测出，耗时时间少，有利于提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 连线 测试 结构 | ||
【主权项】：
一种通孔连线的测试结构，其特征在于，所述结构包括多组基本单元，所述基本单元包括第一金属连线、第二金属连线以及形成于第一金属连线和第二金属连线之上的多个通孔连线，其中，第一金属连线和第二金属连线间隔排列，位于第一金属连线和第二金属连线上的通孔连线之间保持预定间距。
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