[实用新型]TEM样品承载装置以及TEM样品放置系统有效
| 申请号： | 201420147539.5 | 申请日： | 2014-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN203800007U | 公开（公告）日： | 2014-08-27 |
| 发明（设计）人： | 于会生;段淑卿;陈柳;苏佳伟 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/26 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种TEM样品承载装置以及TEM样品放置系统中，碳膜与金属网格相对应的位置设置有样品孔，待测的样品放置于样品孔中，避免了碳膜对TEM分析造成的影响；另外，所述样品孔周围平行金属网格四边的方向均设置有参考孔，并且在金属网架表面设置一预定方向的水平标记线，如此，可以在光学显微镜下通过推动待测样品的金属网旋转，使样品与金属网架表面的水平标记线平行，对随意放置在金属网上的样品方向调整为水平，从而得到水平的TEM图；并且所述金属网可同时承载多个TEM样品送入TEM进行检测分析，进而提高了TEM分析的准确率及检测的工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | tem 样品 承载 装置 以及 放置 系统 | ||
【主权项】：
一种TEM样品承载装置，其特征在于，包括：金属网、金属网架及碳膜；所述金属网套接于所述金属网架上，并且包括多个金属网格；所述碳膜覆盖于所述金属网上；其中，所述碳膜对应每一金属网格的位置均设置有至少一样品孔。
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