[实用新型]MIM测试结构有效
| 申请号： | 201420147550.1 | 申请日： | 2014-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN203774315U | 公开（公告）日： | 2014-08-13 |
| 发明（设计）人： | 牛刚;于建姝;赵晓东;段晓博;刘竞文 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型揭露了一种MIM测试结构，包括多个MIM模块组成的MIM阵列，下层金属层包括至少一组长条形金属线，每组长条形金属线包括两条平行设置的第一金属线和第二金属线，其中第一金属线的一端连接第一检测垫，第二金属线的一端连接第二检测垫，所述上层金属层包括多个阵列排布的矩形金属，每个矩形金属与一组长条形金属线部分重合，所述矩形金属与其下方的第一金属线连接，每个矩形金属与其下方的绝缘层以及金属线形成一个MIM模块。这样可以有效的避免应力引起的边缘效应，从而大大提高MIM结构的各项可靠性测试的准确率和成功率。 | ||
| 搜索关键词： | mim 测试 结构 | ||
【主权项】：
一种MIM测试结构，包括第一检测垫、第二检测垫和MIM区域，所述MIM区域包括自上而下层叠设置的上层金属层、绝缘层和下层金属层，其特征在于，所述MIM区域包括多个MIM模块组成的MIM阵列，所述下层金属层包括至少一组长条形金属线，每组长条形金属线包括两条平行设置的第一金属线和第二金属线，其中第一金属线的一端连接第一检测垫，第二金属线的一端连接第二检测垫，所述上层金属层包括多个阵列排布的矩形金属，每个所述矩形金属与一组长条形金属线部分重合，所述矩形金属与其下方的第一金属线连接，每个矩形金属与其下方的绝缘层以及金属线形成一个MIM模块。
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