[实用新型]对准标记有效
| 申请号： | 201420148077.9 | 申请日： | 2014-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN203774316U | 公开（公告）日： | 2014-08-13 |
| 发明（设计）人： | 王娉婷;奚民伟 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型揭示了一种对准标记，用于背照式影像传感器制作过程中的对准，所述对准标记设置于晶圆正面，包括一对第一标记，分别位于以晶圆缺口所在直径的两侧的一个区域中，所述区域中心连线经过晶圆中心，并与所述直径呈55°夹角，所述区域靠近晶圆边缘，为沿连线方向长度小于等于11mm，垂直连线方向长度小于等于8mm的矩形，位于所述直径左侧的区域到缺口的距离小于位于右侧的区域到缺口的距离；所述第一标记包括多个第二标记。本实用新型的对准标记能够避免占据额外的单元（shot），从而避免了对良率的影响，此外，由于不需要涉及特殊标记，简化了制作流程，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 对准 标记 | ||
【主权项】：
一种对准标记，用于背照式影像传感器制作过程中的对准，其特征在于，包括：所述对准标记设置于晶圆正面，包括一对第一标记，分别位于以晶圆缺口所在直径的两侧的一个区域中，所述区域中心连线经过晶圆中心，并与所述直径呈55°夹角，所述区域靠近晶圆边缘，为沿连线方向长度小于等于11mm，垂直连线方向长度小于等于8mm的矩形，位于所述直径左侧的区域到缺口的距离小于位于右侧的区域到缺口的距离；所述第一标记包括多个第二标记。
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