[实用新型]无关联塔差压热耦合提纯氯硅烷的系统

摘要

本实用新型公开了无关联塔差压热耦合提纯氯硅烷的系统，包括：第一和第二精馏塔，每一个精馏塔均具有进料口、出气口、出液口、进液口和进气口；第一和第二再沸器，每一个再沸器均具有进液口、出气口、蒸汽进口和冷凝液出口，第一和第二回流泵，每一个回流泵均具有进口和泵出口；第一和第二回流罐，每一个回流罐均具有罐进口和罐出口；一个冷凝器，一个冷凝器具有进气口、出液口、冷源进口和冷源出口。与常规串联或并联差压热耦合精馏塔相比，采用本实用新型的提纯氯硅烷的系统可以实现不同塔组之间的塔差压热耦合，扩大了差压热耦合的使用范围，解决了多晶硅系统中提纯工序高能耗的问题。

主权项

一种无关联塔差压热耦合提纯氯硅烷的系统，其特征在于，包括：第一精馏塔和第二精馏塔，所述第一精馏塔和第二精馏塔中的每一个精馏塔均具有位于该精馏塔上的进料口、出气口、出液口、进液口和进气口；第一再沸器和第二再沸器，所述第一再沸器和第二再沸器中的每一个再沸器均具有位于该再沸器上进液口、出气口、蒸汽进口和冷凝液出口，第一回流泵和第二回流泵，所述第一回流泵和第二回流泵中的每一个回流泵均具有位于该回流泵上的进口和泵出口；第一回流罐和第二回流罐，所述第一回流罐和第二回流罐中的每一个回流罐均具有位于该回流罐上的罐进口和罐出口；一个冷凝器，所述一个冷凝器具有进气口、出液口、冷源进口和冷源出口；其中，所述第一精馏塔的出气口与所述冷凝器的进气口相连，所述冷凝器的出液口与所述第一回流罐的罐进口相连，所述第一回流罐的罐出口与所述第一回流泵的泵进口相连，所述第一回流泵的泵出口与所述第一精馏塔的进液口相连，以便将一部分氯硅烷冷凝液回流至所述第一精馏塔；所述第一再沸器和第二再沸器的进液口依次分别与所述第一精馏塔和第二精馏塔的出液口相连，以便对氯硅烷塔底液的一部分进行加热再沸；所述第一再沸器和第二再沸器的出气口依次分别与所述第一精馏塔和第二精馏塔的进气口相连；所述第二精馏塔的出气口与所述第一再沸器的蒸汽进口相连，所述第一再沸器的冷凝液出口与所述第二回流罐的罐进口相连，所述第二回流罐的罐出口与所述第二回流泵的泵进口相连，所述第二回流泵的泵出口与所述第二精馏塔的进液口相连，以便将氯硅烷冷凝液的一部分回流至所述第二精馏塔；其中，所述冷凝器的冷源进口与冷源相连；所述第二再沸器的蒸汽进口与热源相连。