[实用新型]压力烘烤设备有效

专利信息
申请号: 201420159700.0 申请日: 2014-04-03
公开(公告)号: CN203787394U 公开(公告)日: 2014-08-20
发明(设计)人: 赖智忠 申请(专利权)人: 志圣工业股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 北京泰吉知识产权代理有限公司 11355 代理人: 张雅军
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 一种压力烘烤设备,包含一烤箱、一承载箱、一连接装置、一气体循环装置、一气密件及一压力控制装置,烤箱形成一烘烤腔室,承载箱形成一承载腔室,连接装置形成有一连通于烘烤腔室与承载腔室之间的通孔,气体循环装置包括一设置于烘烤腔室内的风扇、一设置于承载腔室内的驱动马达及一穿设于通孔内的传动轴,气密件套设于传动轴上用以阻断通孔,以防止烘烤腔室经由通孔与承载腔室相连通,压力控制装置包括一操控模块、一用以控制烘烤腔室内的压力的第一压力控制模块,及一用以控制承载腔室内的压力的第二压力控制模块,以独立地控制烘烤腔室内及承载腔室内的压力让两者压力处于微压力差,进而提升气密件的使用寿命。
搜索关键词: 压力 烘烤 设备
【主权项】:
一种压力烘烤设备,包含一烤箱、一承载箱、一连接装置、一气体循环装置,及一压力控制装置,该烤箱形成一烘烤腔室,该承载箱形成一承载腔室,该连接装置连接于该烤箱与该承载箱之间,该连接装置形成有一连通于该烘烤腔室与该承载腔室之间的通孔,该气体循环装置包括一设置于该烘烤腔室内的风扇、一设置于该承载腔室内的驱动马达,及一穿设于该通孔内的传动轴,该传动轴的两相反端分别连接于该风扇与该驱动马达,该驱动马达可通过该传动轴带动该风扇旋转,该压力控制装置包括一操控模块,及一设置于该操控模块与该烤箱之间用以控制该烘烤腔室内的压力的第一压力控制模块;其特征在于:该压力烘烤设备还包含一气密件,该气密件套设于该传动轴上用以阻断该通孔,以防止该烘烤腔室经由该通孔与该承载腔室相连通,该压力控制装置还包括一设置于该操控模块与该承载箱之间用以控制该承载腔室内的压力的第二压力控制模块。
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