[实用新型]溅射靶有效
| 申请号： | 201420160844.8 | 申请日： | 2014-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN203890432U | 公开（公告）日： | 2014-10-22 |
| 发明（设计）人： | 张迅;阳威;欧阳小园;易伟华 | 申请（专利权）人： | 江西沃格光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 吴平 |
| 地址： | 338004 江西省新余*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 一种溅射靶，包括靶材和背板，背板为长条状，背板包括多段依次连接的分背板，分背板与相邻分背板的连接处设置有连接面，且连接面的形状与相邻分背板的连接面的形状相适配；靶材为多块，靶材一一对应的粘贴在分背板上，且靶材的形状与分背板的形状相适配。上述溅射靶，背板包括多段相对较小的分背板，靶材和分背板一一对应，一个分背板粘贴一块靶材。更换时，只需要将快用完的靶材换掉，不仅节约了靶材，而且保证了靶材的均匀度，有助于提高溅镀的质量。分背板相连处设置相互匹配的连接面，可以防止溅射过程中溅镀原料随缝隙溅入到阴极背板上，影响到阴极的使用质量。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 | ||
【主权项】：
一种溅射靶，其特征在于，包括背板和靶材；所述背板为长条状，所述背板包括多段依次连接的分背板，所述分背板与相邻所述分背板的连接处设置有连接面，且所述连接面的形状与相邻所述分背板的所述连接面的形状相适配；所述靶材为多块，所述靶材一一对应的粘贴在所述分背板上，且所述靶材的形状与所述分背板的形状相适配。
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