[实用新型]一种多晶硅端面磨床

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅端面磨床，包括机架以及安装在机架上的驱动电机，驱动电机通过丝杆机构与磨头组件连接，磨头组件包括主轴、磨头旋转驱动机构及磨头；磨头旋转驱动机构包括支撑框、绕组、导磁块及外壳，支撑框位于外壳的内腔，且支撑框套接在主轴外围，同时支撑框与主轴固定连接，绕组分布在支撑框与主轴之间的间隙内；外壳可旋转地套接在主轴外围，导磁块安装在外壳上；绕组与激励电源连接，且绕组与导磁块之间磁性连接；因此，本实用新型采用由支撑框、绕组、导磁块以及外壳组成的励磁机构驱动磨头做旋转运动，更易于满足多晶硅块的磨削加工需求；同时本实用新型还配备了相应的冷却系统，便于磨头磨削加工时的磨头定向冷却。

主权项

一种多晶硅端面磨床，包括机架以及安装在机架上的驱动电机，所述的驱动电机通过丝杆机构与磨头组件连接，其特征在于，所述的磨头组件包括主轴、磨头旋转驱动机构以及磨头；所述的磨头旋转驱动机构包括支撑框、绕组、导磁块以及外壳，支撑框位于外壳的内腔，且支撑框套接在主轴外围，同时支撑框与主轴固定连接，绕组分布在支撑框与主轴之间的间隙内；外壳可旋转地套接在主轴外围，导磁块安装在外壳的内壁所设置的凸台上；所述绕组与激励电源连接，且绕组与导磁块之间磁性连接；所述主轴为空心管件，主轴的一端穿出外壳后与机架固定，主轴的另一端穿出外壳后闲置，所述主轴靠近闲置端的管壁上周向开设排水孔；磨头通过磨头连接块与外壳连接成一体，且磨头连接块与主轴闲置端之间具有容水区域，容水区域通过主轴上的排水孔与主轴内腔连通；磨头连接块开设有两条以上的喷水通道，所述的喷水通道与容水区域连通，且喷水通道的喷水口靠近磨头设置。