[实用新型]石英舟运载装置和硅片扩散设备

摘要

本实用新型提供了一种石英舟运载装置和硅片扩散设备，石英舟运载装置包括：机身；用于运载石英舟的移动部，可移动地设置在机身上；第一标识部，设置在移动部上；第二标识部，设置在所机身的预设位置处，第一标识部在移动部停止在预设位置的情况下与第二标识部相对应。当移动部准确地到达预设位置时，第一标识部与第二标识部就会互相对应，所以若移动部发生了偏移，工作人员能够第一时间发现偏移现象，并作出调整，使移动部回到正常位置，从而避免由于移动部发生偏移导致硅片与石英舟发生磕碰并损坏，降低了硅片的损失，提高了硅片的成品合格率。

主权项

一种石英舟运载装置，其特征在于，包括：机身（10）；用于运载石英舟的移动部（20），可移动地设置在所述机身（10）上；第一标识部（30），设置在所述移动部（20）上；第二标识部（40），设置在所机身（10）的预设位置处，所述第一标识部（30）在所述移动部（20）停止在所述预设位置的情况下与所述第二标识部（40）相对应。