[实用新型]一种压电致振式微流体泵送装置

摘要

本实用新型提供一种压电致振式微流体泵送装置，可以克服已有微流体泵送装置的不足，提高装置的输出特性。本实用新型压电致振式微流体泵送装置包括：压盖、进水孔、控制部分、驱动部分、出水孔、闷盖和连接螺栓。控制部分包括进水控制阀、出水控制阀、控制阀座、控制阀腔、支撑体和分隔膜。驱动部分包括泵送振子、泵送腔、支撑体、分隔膜和密封圈。压盖和闷盖与支撑体之间通过连接螺栓固定连接，泵送振子与支撑体之间垫有密封圈，分隔膜为低弹性模量的硅胶膜，并粘贴在泵送振子上。与已有微流体输送装置相比，本实用新型在工作时无流体倒流现象和驱动力损失，可提高装置的输出性能和在高频时本实用新型的流量保持性较好，且能实现流体的双向泵送。

主权项

一种压电致振式微流体泵送装置由压盖（6）、进水孔（2)、进水控制部分（1）、驱动部分（4）、出水控制部分（8）、出水孔（5）、闷盖（7）和连接螺栓（3）组成，泵送装置的支撑体（102）在压盖（6）和闷盖（7）之间，四周通过连接螺栓（3）固定连接，工作时液体由进水孔（2）流入装置，经过进水控制部分（1）、驱动部分（4）和出水控制部分（8）流出出水孔（5），完成流体的整个流动过程，进水孔（2）与进水管固定连接，完成液体由外部流入泵送装置的过程，出水孔（5）与出水管固定连接，完成液体由泵送装置流出外部的过程，进水控制部分（1）和出水控制部分（8）完成液体流入和流出的控制，驱动部分（4）产生流体泵送的驱动力，通过施加高低电平的控制信号和驱动信号，使得进水控制阀（105）和出水控制阀（804）主动的打开和关闭，压电泵送振子（405）周期性的向内和向外运动，泵送腔（404）的容积产生时大时小的周期性变化，形成对液体的泵送能力，使得液体按照工作要求做定向流动。