[实用新型]一种驱动电极板、电容上极板分离式RF MEMS开关有效
申请号: | 201420189983.3 | 申请日: | 2014-04-18 |
公开(公告)号: | CN203910690U | 公开(公告)日: | 2014-10-29 |
发明(设计)人: | 杨俊民 | 申请(专利权)人: | 苏州锟恩电子科技有限公司 |
主分类号: | H01H59/00 | 分类号: | H01H59/00 |
代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 董建林 |
地址: | 215153 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种驱动电极板、电容上极板分离式RFMEMS开关,包括衬底、位于衬底上的缓冲介质层、接地线、共面波导传输线、锚点、绝缘介质层、弹性折叠梁、上电极,所述接地线、共面波导传输线、锚点设于缓冲介质层上,所述绝缘介质层覆于所述共面波导传输线上,所述上电极与所述绝缘介质层留有间隙,所述上电极分为电容上极板和位于电容上极板两端的驱动电极板,所述驱动电极板和电容上极板之间通过两套弯曲形状为n形、弯曲个数为1个的弹性折叠梁连接;所述驱动电极板通过弯曲形状为n形、弯曲个数为2个、套数为2个的弹性折叠梁与锚点连接。此结构有效降低了微桥弹性系数,从而降低电容式RFMEMS开关的驱动电压,驱动电压可低于3V。 | ||
搜索关键词: | 一种 驱动 极板 电容 分离 rf mems 开关 | ||
【主权项】:
一种驱动电极板、电容上极板分离式RF MEMS开关,包括衬底、位于衬底上的缓冲介质层、接地线、共面波导传输线、锚点、绝缘介质层、弹性折叠梁、上电极,所述接地线、共面波导传输线、锚点设于缓冲介质层上,所述绝缘介质层覆于所述共面波导传输线上,所述上电极与所述绝缘介质层留有间隙,其特征在于:所述上电极分为电容上极板和位于电容上极板两端的驱动电极板,所述驱动电极板和电容上极板之间通过两套弯曲形状为n形、弯曲个数为1个的弹性折叠梁连接;所述驱动电极板通过弯曲形状为n形、弯曲个数为2个、套数为2个的弹性折叠梁与锚点连接。
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