[实用新型]大面积超薄单晶硅片定向仪

摘要

大面积超薄单晶硅片定向仪，包括：机体，机体上设置有工作台，工作台上设置有两个测角仪和一个X光射线发生器，两个测角仪上分别设置有一个样品台；样品台上设置有贴片板，贴片板安装有负压管路。X光射线发生器内设置有X光射线管，外接光闸；测角仪内部装设有蜗轮蜗杆副，其蜗轮与主轴同轴连接，蜗杆一端与编码器连接，另一端固定连接有手轮，样品台的固装在主轴上端，样品台的底面安装有滚轮可在测角仪端面轨道上运行调整测试角度。本实用新型实现了大面积超薄单晶硅片A向、C向、R向、M向等多晶向方位的定向测量，精度高，提高了生产率。

主权项

大面积超薄单晶硅片定向仪，包括机体（3）、机体上设置的工作台（4）、测角仪（17）、X光射线发生器（10），其特征在于所述的工作台（4）上设置有两个测角仪（17）和一个X光射线发生器（10），两个测角仪（17）分别位于X光射线发生器（10）两侧，两个测角仪（17）上均设有样品台（13），样品台（13）上设置有贴片板（7），贴片板（7）连接负压管路（12），X光射线发生器（10）内设有X光射线管，外接光闸（9），测角仪（17）内部装设有蜗轮蜗杆（5），蜗轮与主轴（8）同轴连接，蜗杆一端与编码器（6）连接，另一端固定连接有手轮（18），样品台（13）与主轴（8）上端固定连接，样品台（13）的底面安装有滚轮，转动手轮（18）可在测角仪端面轨道（14）上运行调整测试角度，样品台（13）上通过支板（16）固装有闪烁探测器（15），并且每个样品台（13）上均设置有显示样品角度的显示器（11），所述的机体（3）内分别设置有高压变压器（19）、稳压器(2)及气泵（1），气泵（1）连接负压管路（12）的一端，高压变压器（19）电连接X光射线发生器（10）。