[实用新型]直接充装MO源的装置

摘要

本实用新型提供一种直接充装MO源的装置，包括MO源储罐和MO源钢瓶，所述MO源钢瓶上设置有进气管和出气管，所述MO源储罐设置有出料口，所述MO源储罐的出料口通过三通接头连接在进气管上，所述MO源钢瓶内部设置有液位探头，所述液位探头通过PLC控制器连接在MOCVD信号接收器上，所述PLC控制器与三通接头电连接，通过液位探头和MOCVD信号接收器探测到的信号对三通接头进行控制。无需将MO源钢瓶拆卸更换，通过三通接头将MO源钢瓶和MO源储罐连接在一起，并通过惰性气体将MO源储罐中的MO源带入MO源钢管中，解决了MO源充装困难的问题。

主权项

一种直接充装MO源的装置，其特征在于：包括MO源储罐（1）和MO源钢瓶（2），所述MO源钢瓶（2）上设置有进气管（3）和出气管（4），所述MO源储罐（1）设置有出料口（9），所述MO源储罐（1）的出料口（9）通过三通接头（5）连接在进气管（3）上，所述MO源钢瓶（2）内部设置有液位探头（6），所述液位探头（6）通过PLC控制器（7）连接在MOCVD信号接收器（8）上，所述PLC控制器（7）与三通接头（5）电连接，通过液位探头（6）和MOCVD信号接收器（8）探测到的信号对三通接头（5）进行控制。